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无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0。

对于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求：

　　1、送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度更大。

　　2、吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0。2m/s。

　　在我国，《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的

　　垂直平行流(层流)洁净室≥0。25m/s

　　水平平行流(层流)洁净室≥0。35m/s

无尘车间-洁净厂房的竣工验收，是在各分部单机试车，无生产负荷系统试车自检合格后进行。竣工验收的内容是对各分部工程的单机试车和无生产负荷系统试车的核查，洁净室(区)性能参数检测和调试、各分部观感质量核查，按要求进行功能检测和调试。

洁净厂房竣工验收时，应认真检查竣工验收的资料，一般包括下列文件及记录：

1 图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图;

2 各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告;

3 各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录;

4 各分部单机试运转记录;

5 各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录;

6 各类管线试验、检查记录;

7 各分部工程的安全设施的检验和调试记录;

8 各分部工程的质量验收记录。

洁净厂房使用验收后，应编写使用验收报告，其主要内容有：

1 洁净厂房中各种设施(包括生产工艺设备)等的开启状态描述;

2 测试的洁净室(区)人员及其活动情况的描述;

3 分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、座标等);

4 测试仪器的有效校验证书;

5 验收出具相关结论。

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